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你知(zhī)道鍍鋅風管有什麽類型嗎?下麵上海通風管道廠家介紹以(yǐ)下幾種類型
(1)一般排氣:其來源(yuán)於機台運轉發熱產生不含有害物質或是高溫氣體,但考慮無(wú)塵室空調負荷與過濾裝置(zhì)負荷,因(yīn)此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環境而不(bú)需處理。注:GEX采用鍍鋅螺旋風管,HEX采用SUS304酸(suān)排(SEX)、堿排(AEX)係(xì)統流程:
(2)酸堿性排氣:其主要來源於化學清(qīng)洗工作站,清(qīng)洗晶片時所產生之揮(huī)發性氣體,此氣體部分(fèn)含有濃煙,部分(fèn)則對呼吸係統有(yǒu)刺激性作用有害人體,故須經(jīng)過(guò)Scrubber中水洗中和處理,再由風機排(pái)入大氣(qì)。
(3)有機溶劑排氣:其主要來源於塗膠、顯影工序和各工序使(shǐ)用有機溶劑清洗(xǐ)過程時所產(chǎn)生,需經有(yǒu)機廢氣(qì)處理設備處理後,再由風機排入大氣。
(4)堿性(xìng)剝離排氣:主要來源(yuán)為陣列(liè)工程的剝離工序所使用之剝離液,廢(fèi)氣(qì)經過冷凝吸收(shōu)器,將廢氣中的剝離液冷卻下來,冷(lěng)凝器吸收處(chù)理後的廢氣所含的廢氣濃度會大為下降(jiàng),然後送至Central Scrubber做水洗中和處理(lǐ),再(zài)由風機排大氣。
(5)應急(jí)排氣:當潔(jié)淨室機台端風(fēng)管內探(tàn)頭感應氣體濃度過高時,緊(jǐn)急啟用以使生產正常並維持(chí)室內環境。
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